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RR759L27

RR759 該款大氣機(jī)械手是搭載絕對編碼器以及步進(jìn)馬達(dá)的回旋鏢式機(jī)械手。通過手臂和旋轉(zhuǎn)軸配合的補(bǔ)間動作,

可以不搭配行走軸,獨(dú)立對應(yīng)雙Load port場景的晶圓傳輸。

若搭配行走軸,機(jī)械手能控制本體和外部行走軸進(jìn)行同步動作,示教階段亦可實(shí)現(xiàn)。

沒有旋轉(zhuǎn)死角,能夠到達(dá)全方位的角度。


全軸搭載含ABS編碼器的步進(jìn)馬達(dá)

不搭配行走軸,獨(dú)立對應(yīng)雙Load port場景的晶圓傳輸。


手臂高剛性對應(yīng)高重量的負(fù)載

雙臂構(gòu)造從而實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能

可以控制外部行走軸的機(jī)械手


無旋轉(zhuǎn)死角,能夠到達(dá)全方位的角度

對應(yīng)更長的臂展

原則上,RR759只能組裝好以系統(tǒng)的形式來進(jìn)行銷售

手臂/EE: 雙臂
臂長(mm): 270
Z軸行程(mm): 190/420/550
最大傳輸距離(mm)※1: 962
旋轉(zhuǎn)范圍(deg): 420
搬送精度(mm): ±0.1
潔凈度等級: class 1
旋轉(zhuǎn)半徑(deg)※2: R320
編碼器規(guī)格: 絕對值編碼器

※1 以搬送300mm Wafer為例
※2 根據(jù)Wrist以及EE的長度會有所不同。