RR481回旋鏢式手臂真空機(jī)械手（雙臂）由于采用了直驅(qū)馬達(dá)，實(shí)現(xiàn)了高重復(fù)定位精度以及高真空隔絕性能。另外，由于使用鋼帶的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，在保證較小的旋轉(zhuǎn)范圍的同時(shí)，可以使用較長(zhǎng)的末端執(zhí)行器。
較小的旋轉(zhuǎn)范圍
可以使用較長(zhǎng)的手指，實(shí)現(xiàn)較長(zhǎng)的伸展距離
可以對(duì)應(yīng)較窄的門(mén)閥開(kāi)口（15mm）
高精度
對(duì)應(yīng)超高真空
高產(chǎn)能
可以選配AWC功能（wafer位置補(bǔ)正）
| 搬送物： | ~12寸wafer |
| 搬送重量： | 3.0kg/10Nm ※安裝手腕的部分（包含EE） |
| Wafer中心搬送距離（300mm Wafer）： | 715mm(L200)、835mm(L230)、1115mm(L300) |
| Z軸行程： | 70mm/140mm |
| 旋轉(zhuǎn)范圍： | 無(wú)死角旋轉(zhuǎn) |
| 旋轉(zhuǎn)直徑： | 530mm(L200) 、590mm(L230) 、730mm(L300) |
| 搬送精度（X,Y）： | ±0.1mm |
| 重量： | 100kg |
| 應(yīng)對(duì)真空度： | 10E-6 Pa |
| He Leak rate： | 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base Vacuum 5x10E-4 Pa) |
| 使用溫度： | 80℃以下 |
| 真空內(nèi)部使用材料： | 鋁、不銹鋼、AM350（波紋管）、鍍鎳磁鐵、氟橡膠O型密封圈 |
| 馬達(dá)規(guī)格： | 真空用直驅(qū)馬達(dá)（Z軸：伺服馬達(dá)） |
| 編碼器規(guī)格： | 絕對(duì)編碼器 |
| 電源輸入電壓： | DC48V（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）、DC24V（通信） |
| 通訊規(guī)格： | TCP/IP |
| 選配： | 手操器、電源單元（AC200V Input） |
