RR492蛙型真空機械手由于采用了真空直驅(qū)馬達，實現(xiàn)了高位置再現(xiàn)性以及高真空隔絕性能。另外，由于使用full link手臂結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)重復位置的高精度。
高精度
對應超高真空
高產(chǎn)能
可以選配AWC功能（wafer位置補正）
RR492蛙型真空機械手由于采用了真空直驅(qū)馬達，實現(xiàn)了高位置再現(xiàn)性以及高真空隔絕性能。另外，由于使用full link手臂結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)重復位置的高精度。
高精度
對應超高真空
高產(chǎn)能
可以選配AWC功能（wafer位置補正）
| 搬送物： | 最大300mm Wafer、150mm Mask等 |
| Wafer中心搬送距離： | 1039mm （300mm為例） |
| Z軸行程： | 70mm/140mm |
| 旋轉(zhuǎn)范圍： | 無死角旋轉(zhuǎn) |
| 旋轉(zhuǎn)直徑： | 980mm |
| 搬送精度（X,Y）： | ±0.1mm |
| 質(zhì)量： | 70kg |
| 應對真空度： | 10E-6 Pa |
| He Leak rate： | 5x10E-9 Pa.m3/sec He (Base Vacuum 5x10E-4 Pa) |
| 使用溫度： | 80℃以下 |
| 真空內(nèi)部使用材料： | 鋁、不銹鋼、AM350（波紋管）、鍍鎳磁鐵、氟橡膠O型密封圈 |
| 馬達規(guī)格： | 真空用直驅(qū)馬達（Z軸：伺服馬達） |
| 編碼器規(guī)格： | 絕對值編碼器 |
| 電源輸入電壓： | DC48V（馬達驅(qū)動）、DC24V（通信） |
| 通訊規(guī)格： | TCP/IP |
| 選配： | 手操器、電源單元（AC200V Input） |
