RR493 該款SCARA真空機(jī)械手（單臂）通過使用真空直驅(qū)馬達(dá)，實(shí)現(xiàn)了位置的高再現(xiàn)性以及高真空隔絕性能。另外，由于使用鋼帶的連接手臂驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，在保證較小的旋轉(zhuǎn)范圍的同時(shí)，可以使用較長的End Effector。
較小的旋轉(zhuǎn)范圍
可以使用較長的手指，實(shí)現(xiàn)較長的伸展距離
可以對應(yīng)較窄的門閥開口（15mm）
高精度
對應(yīng)超高真空
高產(chǎn)能
可以選配AWC功能（wafer位置補(bǔ)正）
| 搬送物： | ~300mm wafer |
| 搬送重量： | 3.0kg/10Nm ※安裝手腕的部分（包括End Effector） |
| Wafer中心搬送距離（12寸）： | 635mm(L180)、715mm (L200) 、835mm(L230)、1115mm(L300) |
| Z軸行程： | 70mm/140mm |
| 旋轉(zhuǎn)范圍： | 無限旋轉(zhuǎn) |
| 旋轉(zhuǎn)直徑： | 490mm(L180)、530mm(L200)、590mm(L230)、730mm(L300) |
| 搬送精度（X,Y）： | ±0.1mm |
| 重量： | 70kg |
| 應(yīng)對真空度： | 10E-6 Pa |
| 氦氣泄露率： | 5x10E-9 Pa.m3/sec He (基本真空 5x10E-4 Pa) |
| 使用溫度： | 80℃以下 |
| 真空內(nèi)部使用材料： | 鋁、不銹鋼、AM350（波紋管）、鍍鎳磁鐵、氟橡膠O型密封圈 |
| 馬達(dá)規(guī)格： | 真空用直驅(qū)馬達(dá)（Z軸：伺服馬達(dá)） |
| 編碼器規(guī)格： | 絕對值編碼器 |
| 電源輸入電壓： | DC48V（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）、DC24V（通信） |
| 通訊規(guī)格： | TCP/IP |
| 選配： | 手操器、電源單元（AC200V Input） |
