擁有夾持軸、θ軸以及Ｚ軸的邊緣夾持式預(yù)對準(zhǔn)。由于是夾持wafer外側(cè)的邊緣夾持式的構(gòu)造，可以最小限度地抑制particle的附著。
高速、高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
提高機(jī)臺產(chǎn)能（增加緩存機(jī)構(gòu)）
可對應(yīng)透明片、鍵合片、通過畫像傳感器的其他組合方式可以對應(yīng)沒有notch的wafer
擁有夾持軸、θ軸以及Ｚ軸的邊緣夾持式預(yù)對準(zhǔn)。由于是夾持wafer外側(cè)的邊緣夾持式的構(gòu)造，可以最小限度地抑制particle的附著。
高速、高精度（notch精度±0.05°、中心精度±0.05mm）
提高機(jī)臺產(chǎn)能（增加緩存機(jī)構(gòu)）
可對應(yīng)透明片、鍵合片、通過畫像傳感器的其他組合方式可以對應(yīng)沒有notch的wafer
| Wafer尺寸： | 直徑300mm |
| Notch角度精度： | ±0.05 ～ ±0.2° |
| 中心精度： | ±0.05 ～ ±0.1mm ※根據(jù)傳感器的種類以及校準(zhǔn)模式的區(qū)別會有所不同 |
| 定位時間： | 4 ～ 6.5sec |
| 輸入電源： | DC24V 4A |
| 通訊方式： | TCP/IP |
