該款為對應特殊Glass Wafer的Load Port,該款也繼承了RORZE標準的Load Port的開關門方式,可以精密控制FOUP的開關門動作的同時,實現(xiàn)高水平的潔凈度控制。
FOUP 和 Auto FOSB標準化對應
RORZE獨特的開關門機構及高精度的動作控制,以及高潔凈度控制。
該款為對應特殊Glass Wafer的Load Port,該款也繼承了RORZE標準的Load Port的開關門方式,可以精密控制FOUP的開關門動作的同時,實現(xiàn)高水平的潔凈度控制。
FOUP 和 Auto FOSB標準化對應
RORZE獨特的開關門機構及高精度的動作控制,以及高潔凈度控制。
特殊規(guī)格: | Glass對應 |
輸入電源: | DC24V±10% 6A |
壓縮空氣: | 0.5Mpa-0.6Mpa 10L/min以上 |
真空空氣: | -60kPa ? -80kPa 10L/min以上 |
N2: | - |