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RV201-F07-G

該款為對應特殊Glass Wafer的Load Port,該款也繼承了RORZE標準的Load Port的開關門方式,可以精密控制FOUP的開關門動作的同時,實現(xiàn)高水平的潔凈度控制。

FOUP 和 Auto FOSB標準化對應

RORZE獨特的開關門機構及高精度的動作控制,以及高潔凈度控制。


特殊規(guī)格: Glass對應
輸入電源: DC24V±10% 6A
壓縮空氣: 0.5Mpa-0.6Mpa 10L/min以上
真空空氣: -60kPa ? -80kPa 10L/min以上
N2: -