該款主要為和FOUP Stocker搭載使用的Load Port。
該款也繼承了RORZE標(biāo)準(zhǔn)的Load Port的開關(guān)門方式,可以精密控制FOUP的開關(guān)門動作的同時,實(shí)現(xiàn)高水平的潔凈度控制。
FOUP 和 Auto FOSB標(biāo)準(zhǔn)化對應(yīng)
RORZE獨(dú)特的開關(guān)門機(jī)構(gòu)及高精度的動作控制,以及高潔凈度控制。
RORZE特有的Clamp結(jié)構(gòu)